专利名称: | 氦传感器 |
摘要: | 氦传感器具有:壳体(10),该壳体包围检测室(11)。壳体的一侧用对于氦气可选择性透过的壁(12)封闭。在检测室(11)中存在离子吸气泵,其带有阳极(14)、阴极(15)和磁场(16)。根据本发明,阴极(15)或者阴极腿部(15a)由铍构成。铍具有小的原子量,由此更好地将同样重量轻的氦离子结合进阴极材料中。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 因菲康有限公司 |
发明人: | 维尔纳·格罗塞布莱;丹尼尔·韦齐希 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-02-25T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200980106807.0 |
公开号: | CN101960278A |
代理机构: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人: | 王萍;许伟群 |
分类号: | G01M3/20(2006.01)I |
申请人地址: | 德国科隆 |
主权项: | 一种氦传感器,具有:检测室(11),其具有对于氦气可选择性透过的壁(12);离子吸气泵(13),其带有至少一个阴极(15)和至少一个阳极(14),它们连接到电源(20)上;以及磁场生成器,其产生横越检测室的磁场(16),其特征在于,至少一个阴极(15)包含铍。 |
所属类别: | 发明专利 |