专利名称: | 碳纳米管支持体及其制造方法 |
摘要: | 本发明提供一种在气氛中的残留烃极少的高真空状态下,可进行牢固的CNT固定处理,采用单层或2层等的细径CNT的CNT纳米器件及、该制作过程中必需的CNT载体等CNT支持体及其制造方法。在支持体18上形成支持部18a。使CNT15的基端部15a转移至支持部18a,向CNT15的基端部15a照射电子束17或离子束。被覆基端部15a及支持部18a的碳物质层19通过所述电子束17或离子束,变成无定形碳层及石墨层。通过该石墨层,将CNT15固定于支持体18,制成CNT支持体。该束照射在TEM内的高真空下进行。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
发明人: | 中山喜万;平原佳织;千贺亮典 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2009-02-26T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200980106910.5 |
公开号: | CN101960286A |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人: | 李帆 |
分类号: | G01N13/10(2006.01)I |
申请人地址: | 日本埼玉县 |
主权项: | 一种CNT支持体,其特征在于,在支持体的支持部固定了碳纳米管(下面称作CNT)的CNT支持体中,在所述支持部的表面形成下侧石墨层,将CNT固定部接触配置在所述下侧石墨层的表面,通过进一步使上侧石墨层被覆所述固定部,使所述CNT固定于所述支持部。 |
所属类别: | 发明专利 |