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碳纳米管原子氧探测器及其制造方法
| 专利名称： | 碳纳米管原子氧探测器及其制造方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种空间原子氧的碳纳米管探测器，包括基底、碳纳米管层、电极，其中碳纳米管层设置在基底中间，碳纳米管层的两端各镀上电极，通过测量两电极之间的电阻变化来探测空间氧原子的注量。本发明也公开了一种该探测器的制造方法。本发明的薄膜电阻测量原子氧探测器结构简单，且碳纳米管膜厚度可以控制，具有长的使用寿命。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 发明人： | 刘宇明;沈自才;李蔓;刘向鹏;田东波 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811406448.8 |
| 公开号： | CN109307691A |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 100094 北京市海淀区友谊路104号 |
| 主权项： | 1.空间原子氧的碳纳米管探测器，包括基底、碳纳米管层、电极，其中碳纳米管层设置在基底中间，碳纳米管层的两端各镀上电极，通过测量两电极之间的电阻变化来探测空间氧原子的注量。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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