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用于在溅射涂膜系统中固定和运输对撞击敏感的片的方法及装置
| 专利名称： | 用于在溅射涂膜系统中固定和运输对撞击敏感的片的方法及装置 |
| 摘要： | 本发明涉及用于在给溅射系统供料的超净室中固定玻璃片的装置和方法，包括下列特征：a)辊子驱动器(12)，其设计成将运输框架(19)输送到定心单元，并将所述框架从所述单元输送到溅射系统，定心单元使运输框架(19)在水平方向上居中；b)升高和降低磁性轨座(2)中的运输框架(19)的框架提升单元(7)；c)固定和释放运输框架(19)的固定单元(5，8)，被提供用于打开和关闭容纳玻璃板(18)的框架夹子(17)的打开头(3)；d)用于使所述玻璃板(18)升高和枢转的提升单元，该单元使玻璃板进入垂直位置并将所述玻璃板置于运输框架(9)中。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 格林策巴赫机械制造有限公司 |
| 发明人： | 罗兰·弗朗茨 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-03-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980110906.6 |
| 公开号： | CN101980935A |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 德国阿斯巴赫 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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