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微细结构体检查方法、微细结构体检查装置和微细结构体检查程序
| 专利名称： | 微细结构体检查方法、微细结构体检查装置和微细结构体检查程序 |
| 摘要： | 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 凸版印刷株式会社 |
| 发明人： | 米仓勋;波木井秀充 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-03-19T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200980109275.6 |
| 公开号： | CN101978241A |
| 代理机构： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
| 代理人： | 郭晓东;马少东 |
| 分类号： | G01B15/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本国东京都 |
| 主权项： | 一种微细结构体检查方法，用于检查样品微细结构图案的侧壁角度，其特征在于，具有：在多个SEM条件下拍摄所述样品微细结构图案的SEM照片的工序；测定所述SEM照片中的所述样品微细结构图案的边缘部位的白色带宽度的工序；基于所述白色带宽度随着所述多个SEM条件间的变化产生的变化量，计算出所述样品微细结构图案的侧壁角度的工序。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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