专利名称: |
微分干涉相衬层析显微镜 |
摘要: |
本实用新型涉及一种微分干涉相衬层析显微镜。两组合光源经光纤耦合器、准直透镜、起偏器以平行光束入射至光束分离器后分为两路,样品光束经Nomarski棱镜、筒长无限显微物镜入射到载物台上的被测样品,参考光束经相同系统入射到参考反射镜表面,反射镜通过支架与二维反射镜工作台固定在一起,二维反射镜工作台通过齿条、齿轮等与步进电机连接,螺母与载物工作台连接,反射镜与PZT连接。参考光束和样品光束经光束分离器经辅助物镜、检偏器、目镜接CCD探测器。本实用新型采用两LED光源,提高了系统层析图像信号的信噪比,实现对透明或半透明物体的微分相衬观察,并能同时提取物体内部微米级的结构层析图像。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
湖北;42 |
申请人: |
许忠保;张爽;张华;王心怡 |
发明人: |
许忠保;张爽;张华;王心怡 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2009-05-06T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN200920085467.5 |
公开号: |
CN201732057U |
代理机构: |
武汉开元知识产权代理有限公司 42104 |
代理人: |
朱盛华 |
分类号: |
G01N21/45(2006.01)I |
申请人地址: |
430068 湖北省武汉市南湖湖北工业大学机械工程学院 |
主权项: |
微分干涉相衬层析显微镜,其特征在于两LED组合的光源经光纤耦合器,出纤光束经准直透镜、起偏器以平行光束入射至光束分离器后分为两路,光束的一路样品光束经Nomarski棱镜、筒长无限显微物镜入射到载物台上的被测样品,光束的另一路参考光束经Nomarski棱镜,筒长无限显微物镜平行入射到参考镜表面,参考光束和样品光束经光束分离器、辅助物镜、检偏器、目镜接CCD探测器,反射镜通过支架与二维反射镜工作台固定在一起,二维反射镜工作台通过齿条、齿轮、丝杠、螺母与步进电机连接,螺母与载物工作台连接,反射镜与PID微位移闭环控制系统的PZT连接。 |
所属类别: |
实用新型 |