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原文传递电池硅片检测系统

专利名称：	电池硅片检测系统
摘要：	本发明涉及一种检测系统，更具体地说，涉及一种电池硅片检测系统，包括硅片输送装置，沿硅片输送装置依次设置上料区，用于将硅片放置在硅片输送装置上；曝光区，设有位于硅片上方的检测成像系统以及用于对硅片限位的限位机构；分拣区，用于将不同质量的硅片放到对应的收料盒中，本发明只需将硅片放入上料区的上料盒，即可实现对硅片的分拣，简单、实用，并针对电致荧光原理设计了电池硅片限位机构，实现了对硅片的精确固定。
专利类型：	发明专利
申请人：	3i系统公司
发明人：	裴世铀;李波;杨铁成;樊思民;陈利平
专利状态：	有效
申请日期：	2009-06-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010500940.9
公开号：	CN101957321A
代理机构：	广州新诺专利商标事务所有限公司 44100
代理人：	华辉;周端仪
分类号：	G01N21/64(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	一种电池硅片检测系统，其特征在于：包括硅片输送装置，沿硅片输送装置依次设置上料区，用于将硅片放置在硅片输送装置上；曝光区，设有位于硅片上方的检测成像系统以及用于对硅片限位的限位机构；分拣区，用于将不同质量的硅片放到对应的收料盒中，所述限位机构包括设于其底部的气缸活塞杆和气缸活塞杆上部的托盘，所述托盘上设有限定硅片位置的棘爪机构，随着气缸活塞杆、托盘的上下移动，实现棘爪机构对硅片的卡紧和松开，所述托盘上方设有固定有上探针的上基板，所述上基板固定于位于限位机构四角、托盘外侧的导向轴顶部，托盘下方设有下基板，托盘和下基板之间设有固定有下探针的探针架，托盘、探针架和下基板固定为一体，下基板下方设有棘爪板，所述棘爪板上固定有导柱，所述下基板上对应设有容置导柱的导柱孔，所述托盘上设有探针孔，所述下探针上部位于探针孔内，所述导柱上、托盘和下基板间套接有弹簧，所述棘爪板周边设有若干活动连接“L”形棘爪的抓座，抓座内对应“L”形棘爪设有弹簧，“L”形棘爪上端部高于托盘，所述限位机构底部设有固定板，所述固定板上对应“L”形棘爪设有顶柱，固定板通过其四角的导向轴和上基板固定为一体，所述气缸活塞杆穿过固定板、棘爪板和下基板固定，所述下基板在硅片的运动方向的两侧设有门板。
所属类别：	发明专利