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原文传递 硅片加工系统
专利名称: 硅片加工系统
摘要: 本实用新型涉及一种硅片加工系统,包括切片装置、脱胶装置以及自动上下棒装置;所述自动上下棒装置包括:行走机构;支架,设于所述行走机构上;悬吊机构,设于所述支架上,且可相对所述行走机构沿竖直方向移动;定位机构,固定设于所述行走机构、所述支架或所述悬吊机构上,用以检测工件所在位置;AGV车载控制系统,设于所述行走机构上,所述AGV车载控制系统用以接收所述定位机构的检测信息,并控制所述行走机构的行走和所述悬吊机构的移动。上述硅片加工系统,包括自动上下棒装置,自动上下棒装置通过AGV车载控制系统控制行走机构的行走和悬吊机构的移动,以实现硅片加工中的上下棒自动化操作,从而减小操作人员的作业强度。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 扬州协鑫光伏科技有限公司
发明人: 李玉卓;沙娟
专利状态: 有效
申请日期: 2018-08-01T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-20T00:00:00+0800
申请号: CN201821237952.5
公开号: CN209273722U
代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人: 唐清凯
分类号: B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 225000 江苏省扬州市八里镇金山路129号
主权项: 1.一种硅片加工系统,其特征在于,包括切片装置、脱胶装置以及自动上下棒装置; 所述自动上下棒装置包括: 行走机构; 支架,设于所述行走机构上; 悬吊机构,设于所述支架上,且可相对所述行走机构沿竖直方向移动; 定位机构,固定设于所述行走机构、所述支架或所述悬吊机构上,用以检测工件所在位置; AGV车载控制系统,设于所述行走机构上,所述AGV车载控制系统用以接收所述定位机构的检测信息,并控制所述行走机构的行走和所述悬吊机构的移动。 2.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,还包括用以临时存放工件的置物架。 3.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述支架上设有可相对所述行走机构沿竖直方向移动的悬臂梁,所述悬吊机构固定设于所述悬臂梁上。 4.根据权利要求3所述的硅片加工系统,其特征在于,所述自动上下棒装置还包括设于所述行走机构上的用以支撑所述悬臂梁的支撑柱。 5.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述支架为可沿竖直方向伸缩的可伸缩支架。 6.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述支架上设有机械臂,所述悬吊机构固定设于所述机械臂上。 7.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述支架为可沿水平方向伸缩的可伸缩支架,以带动所述悬吊机构沿水平方向移动。 8.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述定位机构包括用以检测工件位置的工业相机。 9.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述定位机构包括用以检测工件位置的红外传感器。 10.根据权利要求1所述的硅片加工系统,其特征在于,所述行走机构下方设有万向轮。
所属类别: 实用新型
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