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俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法
| 专利名称： | 俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法 |
| 摘要： | 本发明揭露了一种俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法，该方法包括如下步骤：提供俄歇电子能谱仪检测样品；利用稀有气体离子溅射所述俄歇电子能谱仪检测样品表面。该方法简单实用，成本低，可快速有效的减小荷电效应，并且对需要进行组分分析的检测样品表面不会产生损坏，确保获取准确的检测样品表面组分分析结果，提高了产品良率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 发明人： | 齐瑞娟 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2009-08-04T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200910055898.1 |
| 公开号： | CN101988911A |
| 代理机构： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
| 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 分类号： | G01N23/227(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203 上海市张江路18号 |
| 主权项： | 一种俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法，包括：提供一俄歇电子能谱仪检测样品；利用稀有气体离子溅射所述俄歇电子能谱仪检测样品表面。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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