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多晶硅棒的裂纹产生方法和裂纹产生装置
| 专利名称： | 多晶硅棒的裂纹产生方法和裂纹产生装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅棒的裂纹产生方法及裂纹产生装置。多晶硅棒的裂纹产生方法在对多晶硅棒加热后进行急冷，由此产生裂纹，其特征在于，该方法具有将冷却流体喷射到上述多晶硅棒的表面的一部分以在其表面成为点状的局部冷却工序。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 发明人： | 林田周平 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2010-07-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201010239811.9 |
| 公开号： | CN101985226A |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
| 代理人： | 张雨;杨楷 |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 主权项： | 一种多晶硅棒的裂纹产生方法，其在对多晶硅棒加热后进行急冷，由此产生裂纹，其特征在于，该方法具有将冷却流体喷射到上述多晶硅棒的表面的一部分以在其表面成为点状的局部冷却工序。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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