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原文传递多晶硅硅棒裂纹检测方法

专利名称：	多晶硅硅棒裂纹检测方法
摘要：	本发明提供了一种多晶硅硅棒裂纹检测方法，根据硅棒出现裂纹时电流的波动特征进行硅棒裂纹检测，设置电流允许波动范围定值，超出此范围认为是波动，当电流波动次数大于设定允许波动次数定值时，判定为硅棒裂纹出现，当检测出硅棒裂纹后，控制输出电压恒定不变，并提醒工艺操作人员，调整进料配比和流量进行裂纹修复。在多晶硅生产过程中检测到裂纹时可以提醒工艺操作人员及时采取措施，对提高多晶硅产品质量和产量有重要意义。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	南京因泰莱电器股份有限公司
发明人：	张杭;高建虎;张燕;丁洁
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910735885.2
公开号：	CN110596194A
代理机构：	江苏圣典律师事务所
代理人：	韩天宇
分类号：	G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	211100 江苏省南京市江宁区天元东路52号
所属类别：	发明专利