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原文传递一种用于单晶硅硅棒表面检测设备

专利名称：	一种用于单晶硅硅棒表面检测设备
摘要：	本实用新型涉及单晶硅检测技术领域，具体公开了一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座、固定座、移动座、转动架以及固定架，所述底座整体设置为条形结构，所述固定座、移动座均设置在底座上侧；所述固定座在底座的一端固定设置，在底座上表面设置有滑槽，所述移动座下部安装在滑槽中，并沿着滑槽长度方向移动；所述固定座上部竖直设置有安装板，转动架设置在安装板朝向移动座的一侧，所述转动架上设置有夹盘，所述夹盘上设置有夹块；所述安装板背向移动座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转动架相连；所述移动座上部设置有固定板，所述固定架设置在固定板朝向固定座的一侧；针对硅棒夹具可以灵活调整以适应夹持。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	内蒙古;15
申请人：	包头市检验检测中心
发明人：	耿洪燕;包福军;郝继军;李永滔;郭华;张志强;赵光远;陈媛媛
专利状态：	有效
申请日期：	2023-06-05T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202321410935.8
公开号：	CN219978253U
代理机构：	上海世圆知识产权代理有限公司
代理人：	陈颖洁
分类号：	G01N33/00;B25B11/00;G;B;G01;B25;G01N;B25B;G01N33;B25B11;G01N33/00;B25B11/00
申请人地址：	014030 内蒙古自治区包头市青山区钢铁大街34号
主权项：	1.一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：包括底座（1）、固定座（2）、移动座（3）、转动架（4）以及固定架（6），所述底座（1）整体设置为条形结构，所述固定座（2）、移动座（3）均设置在底座（1）上侧；所述固定座（2）在底座（1）的一端固定设置，在底座（1）上表面设置有滑槽（11），所述移动座（3）下部安装在滑槽（11）中，并沿着滑槽（11）长度方向移动；所述固定座（2）上部竖直设置有安装板（21），转动架（4）设置在安装板（21）朝向移动座（3）的一侧，所述转动架（4）上设置有夹盘（41），所述夹盘（41）上设置有夹块（42）；所述安装板（21）背向移动座（3）的一侧设置有驱动电机（5），所述驱动电机（5）的输出轴与转动架（4）相连；所述移动座（3）上部设置有固定板（32），所述固定架（6）设置在固定板（32）朝向固定座（2）的一侧。 2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定座（2）侧面设置有螺杆（22），所述移动座（3）中对应设置有螺筒（31），所述螺杆（22）配合从螺筒（31）中穿过；所述螺杆（22）由固定座（2）内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆（22）设置在固定座（2）侧面的中间位置，所述滑槽（11）并排设置有两道；在移动座（3）下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽（11）中。 3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述转动架（4）、夹盘（41）均设置为圆盘状结构，在夹盘（41）上表面设置有若干道夹槽（43），所述夹块（42）对应安装在夹槽（43）中。 4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述夹槽（43）沿着夹盘（41）的径向方向均匀设置，所述夹槽（43）中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块（42）相连；所述夹块（42）截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘（41）的中轴线设置；所述夹块（42）的下底面设置有缓冲垫（44）。 5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定板（32）下部通过连接块（33）与移动座（3）固定连接，所述固定架（6）通过转轴与固定板（32）连接；所述固定架（6）设置为圆盘状结构，在固定架（6）上设置有固定盘（7），所述固定盘（7）内设置有固定槽（71）；所述固定架（6）与转动架（4）中轴线相互重合。 6.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定盘（7）设置为圆柱形结构，固定槽（71）设置为倒圆台状凹槽；所述固定架（6）上设置有限位槽（61），所述固定盘（7）通过限位块卡在限位槽（61）中；所述固定盘（7）、固定架（6）中轴线相互重合。
所属类别：	实用新型