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原文传递用于单晶硅棒的对中检测机构

专利名称：	用于单晶硅棒的对中检测机构
摘要：	本实用新型涉及半导体加工技术，旨在提供一种用于单晶硅棒的对中检测机构。包括固定在底座上的竖向安装支架，设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，固定装有副刻度尺且与主刻度尺相邻；竖向左右旋梯形丝杆的一端设驱动机构，梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。本实用新型检测结果准确，可靠；调整硅棒时可以及时检测，拆卸方便，提高了生产效率；结构简单，操作简便，成本较低，可以节省大量的生产成本。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	浙江晶盛机电股份有限公司
发明人：	曹建伟;傅林坚;徐开涛;谢永旭;卢嘉彬;沈文杰;李林;朱亮
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820082353.4
公开号：	CN207972154U
代理机构：	杭州中成专利事务所有限公司 33212
代理人：	周世骏
分类号：	B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
申请人地址：	312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
主权项：	1.一种用于单晶硅棒的对中检测机构，包括固定在底座上的竖向的安装支架；其特征在于，在安装支架上设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，各滑座上均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，副刻度尺固定在副尺安装座上且与主刻度尺相邻；该机构还包括一个竖向的左右旋梯形丝杆，其一端设驱动机构；梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。
所属类别：	实用新型