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一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法
| 专利名称： | 一种用于单晶硅棒的对中检测机构及检测方法 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体加工技术，旨在提供一种用于单晶硅棒的对中检测机构。包括固定在底座上的竖向安装支架，设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，固定装有副刻度尺且与主刻度尺相邻；竖向左右旋梯形丝杆的一端设驱动机构，梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。本发明检测结果准确，可靠；调整硅棒时可以及时检测，拆卸方便，提高了生产效率；结构简单，操作简便，成本较低，可以节省大量的生产成本。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 发明人： | 曹建伟;傅林坚;徐开涛;谢永旭;卢嘉彬;沈文杰;李林;朱亮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810048097.1 |
| 公开号： | CN108407115A |
| 代理机构： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 |
| 代理人： | 周世骏 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 申请人地址： | 312300 浙江省杭州市上虞区通江西路218号 |
| 主权项： | 1.一种用于单晶硅棒的对中检测机构，包括固定在底座上的竖向的安装支架；其特征在于，在安装支架上设有竖向且平行的主刻度尺和导轨；导轨上活动安装两个滑座，各滑座上均固定装有横杆导向块，检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移；两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座，副刻度尺固定在副尺安装座上且与主刻度尺相邻；该机构还包括一个竖向的左右旋梯形丝杆，其一端设驱动机构；梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座，两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内，副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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