专利名称: |
一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法 |
摘要: |
本发明公开了一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法,是先将高纯熔融石英原料进行湿法球磨造粒,再注入石膏模具,然后进行静置、脱模、干燥、烧结而成。本发明的熔融石英坩埚,其室温弯曲强度在17MPa以上,体积密度为1.85~1.98g/cm3,真密度为2.16~2.23g/cm3,线性膨胀系数为0.6×10-6/℃,气孔率为11%~14%;且坩埚的内部组织结构非常均匀,适当的气孔率既保证了坩埚的强度,又保证了很好的吸附性,提高了多晶硅铸锭的成品率;高纯熔融石英原料相对于石墨,可减少对多晶硅的污染、降低制造成本;能完全满足多晶硅铸锭的生产要求和规模化生产的需求,具有显著的市场价值。? |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
江苏润弛太阳能材料科技有限公司 |
发明人: |
方青 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2010-12-09T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201010581491.5 |
公开号: |
CN101988214A |
代理机构: |
上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 |
代理人: |
何葆芳 |
分类号: |
C30B15/10(2006.01)I |
申请人地址: |
212211 江苏省镇江市扬中油坊工业区明珠路1号 |
主权项: |
一种用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚的制备方法,其特征在于,包括如下具体步骤:a)?将高纯熔融石英原料投入球磨机中进行湿法造粒,控制研磨后的料浆粒径在10??m?~50??m;b)?将上述料浆取出后充分搅拌,再转入浇注罐中注入石膏模具,在石膏模具中静置使其充分脱水成型,然后进行脱模;c)?脱模后在干燥炉内进行干燥,干燥温度控制在100~180℃;d)?将干燥后的熔融石英坩埚放入窑炉中进行烧结,烧结温度控制在1000~1300℃,烧结时间为14~24小时,烧结后即得本发明所述的用于多晶硅铸锭的熔融石英坩埚。 |
所属类别: |
发明专利 |