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原文传递运送系统

专利名称：	运送系统
摘要：	本发明提供一种能够提高效率的运送系统。其技术方案包括：控制装置(7)根据第1拍摄装置(5)所拍摄的拍摄数据确认被拾取夹具下一次吸附的电子元件的位置，移动固定晶圆框架(W)的固定部，使电子元件位于拾取夹具的吸附端。由此，可以不设置用于矫正姿态的工序或处理装置，因此，能够缩短处理时间。另外，由于能够不用夹住电子元件地矫正姿态，因此，能够防止电子元件的破损，能够防止由清理破损的电子元件所引起的效率低下。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社泰塞克
发明人：	北原徹;北川和树;小野村敦
专利状态：	有效
申请日期：	2010-02-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010131695.9
公开号：	CN102020114A
代理机构：	北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：	申健
分类号：	B65G47/91(2006.01)I
申请人地址：	日本东京东大和市上北台3丁目391番地1(207-0023)
主权项：	一种运送系统，其特征在于，包括：支持部，支撑保持贴有电子元件的晶圆薄板的晶圆框架；移动部，使该支持部在沿所述晶圆薄板的平面的方向上移动；第1吸附部，包括依次从所述晶圆薄板上吸附所述电子元件的多个第1夹具；第1相机，拍摄贴在所述晶圆薄板上、被所述第1夹具下一次吸附的电子元件；控制部，根据该第1相机拍摄的拍摄数据移动所述移动部。
所属类别：	发明专利