详情

原文传递出入料基板移送夹护装置

专利名称：	出入料基板移送夹护装置
摘要：	一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置，包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构，所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上，基板挂架具有夹持基板的夹持部件，基板挂架与驱动机构相连，在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。这种夹护装置可避免薄型基板在移送和加工过程中发生漂板现象，从而保证加工品质。
专利类型：	实用新型专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州明毅电子机械有限公司
发明人：	邓高荣
专利状态：	有效
申请日期：	2010-07-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201020275583.6
公开号：	CN201857124U
代理机构：	广州知友专利商标代理有限公司 44104
代理人：	周克佑
分类号：	B65G47/91(2006.01)I
申请人地址：	510470 广东省广州市白云区人和镇东华工业区东景路13号
主权项：	一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：它包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构，所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上，基板挂架具有夹持基板的夹持部件，基板挂架与驱动机构相连，在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。
所属类别：	实用新型