专利名称: |
出入料基板移送夹护装置 |
摘要: |
一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置,包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构,所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上,基板挂架具有夹持基板的夹持部件,基板挂架与驱动机构相连,在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。这种夹护装置可避免薄型基板在移送和加工过程中发生漂板现象,从而保证加工品质。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
广州明毅电子机械有限公司 |
发明人: |
邓高荣 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2010-07-28T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201020275583.6 |
公开号: |
CN201857124U |
代理机构: |
广州知友专利商标代理有限公司 44104 |
代理人: |
周克佑 |
分类号: |
B65G47/91(2006.01)I |
申请人地址: |
510470 广东省广州市白云区人和镇东华工业区东景路13号 |
主权项: |
一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置,其特征在于:它包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构,所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上,基板挂架具有夹持基板的夹持部件,基板挂架与驱动机构相连,在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。 |
所属类别: |
实用新型 |