专利名称: | 工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法 |
摘要: | 本发明的工件移送方法的特征在于,用附着部件3使静电吸盘2 附着到保持板1上;用附着的静电吸盘2吸附保持工件A,同时用隔 离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离,据此工 件A不变为自由状态,所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位 置;停止静电吸盘2的静电吸附功能后,用附着部件3再度只将静电 吸盘2附着到保持板1上,从移动到释放位置的工件A的表面剥离静 电吸盘2,而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明,即使是薄 且刚性低的工件,也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 信越工程株式会社 |
发明人: | 大谷义和 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-09-29T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200680000751.7 |
公开号: | CN101316777 |
代理机构: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人: | 王以平 |
分类号: | B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: | 日本东京 |
所属类别: | 发明专利 |