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工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法
| 专利名称： | 工件移送方法和静电吸盘装置以及基板粘贴方法 |
| 摘要： | 本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件3使静电吸盘2 附着到保持板1上；用附着的静电吸盘2吸附保持工件A，同时用隔 离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离，据此工 件A不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位 置；停止静电吸盘2的静电吸附功能后，用附着部件3再度只将静电 吸盘2附着到保持板1上，从移动到释放位置的工件A的表面剥离静 电吸盘2，而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明，即使是薄 且刚性低的工件，也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 信越工程株式会社 |
| 发明人： | 大谷义和 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680000751.7 |
| 公开号： | CN101316777 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 王以平 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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