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石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
| 论文题名： | 石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究 |
| 关键词： | 石墨;MEMS;航空;气压传感器;结构设计 |
| 作者： | 刘絮 |
| 专业： | 航天工程 |
| 导师： | 宋学锋 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究 |
| 关键词： | 石墨;MEMS;航空;气压传感器;结构设计 |
| 作者： | 刘絮 |
| 专业： | 航天工程 |
| 导师： | 宋学锋 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |