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MEMS电容式气压传感器性能测试系统的研究与设计
| 论文题名： | MEMS电容式气压传感器性能测试系统的研究与设计 |
| 关键词： | MEMS;电容式;气压传感器;性能测试系统 |
| 作者： | 王杰 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 李伯全;郝秀春 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 江苏大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | MEMS电容式气压传感器性能测试系统的研究与设计 |
| 关键词： | MEMS;电容式;气压传感器;性能测试系统 |
| 作者： | 王杰 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 李伯全;郝秀春 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 江苏大学 |
| 学位年度： | 2018 |
| 正文语种： | 中文 |