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基于电容式微超声传感器的气体传感研究
| 论文题名： | 基于电容式微超声传感器的气体传感研究 |
| 关键词： | 电容式;超声传感器 |
| 作者： | 于露 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 张慧 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 天津大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 基于电容式微超声传感器的气体传感研究 |
| 关键词： | 电容式;超声传感器 |
| 作者： | 于露 |
| 专业： | 仪器仪表工程 |
| 导师： | 张慧 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 天津大学 |
| 学位年度： | 2019 |
| 正文语种： | 中文 |