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电容式微加工超声传感器有限元仿真及薄膜静动态性能分析
| 论文题名： | 电容式微加工超声传感器有限元仿真及薄膜静动态性能分析 |
| 关键词： | 电容式微加工;超声传感器;有限元仿真;薄膜 |
| 作者： | 张雪晴 |
| 专业： | 控制工程 |
| 导师： | 姚智伟;邹启宝 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 华南理工大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |
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| 论文题名： | 电容式微加工超声传感器有限元仿真及薄膜静动态性能分析 |
| 关键词： | 电容式微加工;超声传感器;有限元仿真;薄膜 |
| 作者： | 张雪晴 |
| 专业： | 控制工程 |
| 导师： | 姚智伟;邹启宝 |
| 授予学位： | 硕士 |
| 授予学位单位： | 华南理工大学 |
| 学位年度： | 2020 |
| 正文语种： | 中文 |