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原文传递基片传输设备

专利名称：	基片传输设备
摘要：	本发明公开了一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其中，所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。本发明基片传输设备能实现基片在各种工艺腔体中匀速、无震动地传输。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	东莞宏威数码机械有限公司
发明人：	杨明生;王学敬;刘惠森;范继良;王曼媛
专利状态：	有效
申请日期：	2011-04-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110084316.X
公开号：	CN102167227A
代理机构：	广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：	张艳美;郝传鑫
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区东莞宏威数码机械有限公司
主权项：	一种基片传输设备，用于实现基片在各种工艺腔体中传输，其特征在于：所述基片传输设备包括驱动装置、传动轮、橡胶条及承载基片用的基片载体，所述基片载体呈平板结构且两侧边分别固定有所述橡胶条，所述传动轮设置于所述基片载体的两侧且与所述橡胶条过盈配合，所述驱动装置与所述传动轮连接，所述驱动装置通过所述传动轮带动所述基片载体运动。
所属类别：	发明专利