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原文传递基片加工设备

专利名称：	基片加工设备
摘要：	一种基片加工设备(100)，其包含具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和两个侧向隧道壁(128)的加工隧道(102)，所述隧道壁构造成用来限定出加工隧道空间(104)，所述加工隧道空间在纵向运输方向(T)上延伸，并适合容纳至少一个平行于上下隧道壁(122,142)取向的基本上平坦的基片(180)，所述加工隧道分成包含下隧道壁的下隧道体(120)和包含上隧道壁的上隧道体(140)，所述隧道体(120,140)可沿着至少一个纵向延伸的接合部(160)以可分离的方式彼此接合，使得它们可在闭合形态与开放形态之间相互移动，其中在闭合形态中，隧道壁(122,128,42)限定出加工隧道空间(104)，而开放形态能够提供通向加工隧道内部的侧向维护通道。
专利类型：	发明
国家地区组织代码：	荷兰;NL
申请人：	ASM国际股份有限公司
发明人：	E·H·A·格兰尼曼;P·塔克
专利状态：	有效
申请日期：	2014-03-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201480028863.8
公开号：	CN105473762A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：	乐洪咏;沙永生
分类号：	C23C16/455(2006.01)I
申请人地址：	荷兰阿尔梅勒
主权项：	一种基片加工设备(100)，其包含：?具有下隧道壁(122)、上隧道壁(142)和两个侧向隧道壁(128)的加工隧道(102)，其中所述隧道壁构造成用来限定出加工隧道空间(104)，所述加工隧道空间在纵向运输方向(T)上延伸，并适合容纳至少一个平行于上下隧道壁(122,142)取向的基本上平坦的基片(180)；?在所述下隧道壁和所述上隧道壁里提供的多个气体注入通道(124,144)，其中下隧道壁里的气体注入通道(124)构造成用来提供下气体轴承(126)，而上隧道壁里的气体注入通道(144)构造成用来提供上气体轴承(146)，所述气体轴承构造成用来浮动支承所述基片(180)，并将所述基片(180)容纳在所述气体轴承之间；以及?多个排气通道(130)，其设置在所述两个侧向隧道壁中，或者设置在上下隧道壁(122,142)中至少一个隧道壁里紧邻所述两个侧向隧道壁(128)的位置，其中各侧向隧道壁里的或者紧邻各侧向隧道壁的排气通道在运输方向上间隔开；其特征在于，所述加工隧道分成包含所述下隧道壁的下隧道体(120)和包含所述上隧道壁的上隧道体(140)，所述隧道体(120,140)沿着至少一个纵向延伸的接合部(160)以可分离的方式彼此接合，使得它们可在闭合形态与开放形态之间相互移动，其中在闭合形态中，所述隧道壁(122,128,142)限定出加工隧道空间(104)，而开放形态能够提供通向加工隧道内部的侧向维护通道。
所属类别：	发明专利