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基片传递设备,基片处理系统,和基片传递方法
| 专利名称： | 基片传递设备,基片处理系统,和基片传递方法 |
| 摘要： | 基片传递设备包括彼此之间垂直地间隔预先确定的距离的叉。当 叉从第一基片包含部分取出基片时，每个叉通过从定位在将要取出的 基片下方的预卸载位置向上运动预先确定的卸载行程量提升基片并且 支撑基片。预先确定的距离的值设定为等于包含在第一基片包含部分 内的基片之间的距离和卸载行程量的和。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 发明人： | 村田晃;榎木田卓;道木裕一 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2007-05-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200710104567.3 |
| 公开号： | CN101079388 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 原绍辉 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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