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基片传送装置、取出基片的方法和容纳基片的方法
| 专利名称： | 基片传送装置、取出基片的方法和容纳基片的方法 |
| 摘要： | 一种基片传送装置，用于取出以水平状态容纳在基片容纳托盘中的基片，其包括多个支撑销，用于将在基片容纳托盘中所容纳的基片升起到基片容纳托盘的上方。基片容纳托盘包括多个开孔，多个支撑销能够穿过它们插入。多个支撑销相对于基片容纳托盘向上移动，并穿过基片容纳托盘上的多个开孔插入，以升起基片。多个支撑销中的每个都具有足够的长度，能穿过竖直堆放的多个基片容纳托盘垂直插入。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 夏普株式会社 |
| 发明人： | 吉泽武德;海野重信 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-11-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200310122288.1 |
| 公开号： | CN1504396 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 分类号： | B65G49/06 |
| 申请人地址： | 日本大阪府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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