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基片的运送装置和方法
| 专利名称： | 基片的运送装置和方法 |
| 摘要： | 具有一个内孔的基片（２１、２５）用的带有一个内手爪（２）和外手爪（３）的运送装置，其中该内手爪为内孔手爪（２）。具有一个内孔的基片（２１，２５）的运送方法是，第一个基片（２１）用一个内孔手爪（２）抓取、与外手爪（３）接触并通过外手爪（３）抓取。内孔手爪（２）松开、通过第一个基片的孔进行运动并抓取第二个基片（２５）。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 施蒂格哈马技术股份公司 |
| 发明人： | U·斯佩尔;K·维贝尔 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1999-04-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN99805319.8 |
| 公开号： | CN1298364 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 赵辛 |
| 分类号： | B65G47/91 |
| 申请人地址： | 德国斯台恩费尔斯 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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