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原文传递基片传送装置

专利名称：	基片传送装置
摘要：	本发明提供一种用于可靠地传送基片并检测基片的接收状态的基片传送装置。该基片传送装置包括夹紧件，当托架从装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。夹紧件可以包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与至少一个托架在相同的方向上移动，弹性件提供弹力以使推杆从侧面推压基片边缘。
专利类型：	发明专利
申请人：	塞梅斯株式会社
发明人：	朴舟楫;崔贞烈
专利状态：	有效
申请日期：	2005-06-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510075184.9
公开号：	CN1733577
代理机构：	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人：	武玉琴;胡育昌
分类号：	B65G49/05(2006.01)I
申请人地址：	韩国忠清南道
所属类别：	发明专利