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原文传递基片传送机构

专利名称：	基片传送机构
摘要：	本发明提供了一种基片传送机构，它能稳定地对基片进行传送而不会使基片掉落，而且在基片上不会粘附灰尘，不会使所传送的基片产生裂纹和损坏，此外，它还能在对基片进行固化时，简单地利用光强度相同的紫外线对基片两侧同时进行固化。基片传送机构2包括：一些传送辊2a，用于支撑着基片W两端传送基片；传送辅助机构3，利用当前被传送辊2a支撑着的基片W下部的气体以非接触的方式来支撑着基片W，其中，传送辅助机构3包括：一些沿着基片W布置并具有预定长度的空气管3a；以及一些吹气孔3b，被设置在所说的空气管3a中，所说的吹空气管3a
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社ORC制作所
发明人：	山下大树;大木智范;萩原慎二
专利状态：	有效
申请日期：	2003-03-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03119361.7
公开号：	CN1449980
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	党晓林
分类号：	B65H5/22
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利