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原文传递 用于硅片收片的滚轮传动机构
专利名称: 用于硅片收片的滚轮传动机构
摘要: 本实用新型涉及一种用于硅片收片的滚轮传动机构,包括多道滚轮,滚轮通过驱动马达驱动,末端多道滚轮采用末端驱动马达驱动,在本传动机构的末端区域设置硅片探测装置,硅片探测装置与末端驱动马达控制连接,硅片探测装置探测到硅片被传送到末端时,硅片探测装置让末端多道滚轮停止,硅片就停在该位置。采用本方案后,硅片到传送末端时,该处滚轮停止转动,硅片停止到该位置,让操作员有足够时间来进行处理硅片,方便操作,减少破片和污染等问题。
专利类型: 实用新型专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 常州天合光能有限公司
发明人: 叶权华;杨延德
专利状态: 有效
申请日期: 2011-04-30T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201120135032.4
公开号: CN202030265U
代理机构: 常州市维益专利事务所 32211
代理人: 王凌霄
分类号: B65G13/06(2006.01)I
申请人地址: 213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
主权项: 一种用于硅片收片的滚轮传动机构,包括多道滚轮(1),所述的滚轮(1)通过驱动马达驱动,其特征是:所述的末端多道滚轮(1)采用末端驱动马达(2)驱动,在本传动机构的末端区域设置硅片探测装置(3),硅片探测装置(3)与末端驱动马达(2)控制连接,硅片探测装置(3)探测到硅片(4)被传送到末端时,硅片探测装置(3)让末端多道滚轮(1)停止,硅片(4)就停在该位置。
所属类别: 实用新型
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