专利名称: |
一种气浮平台 |
摘要: |
本实用新型属于光机电技术领域,具体公开了一种气浮平台,其包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体,所述腔体上部具有气浮平板,所述气浮平板上具有气浮块。本实用新型的关键点在于采用多孔材料模块化设计形成气浮平台,根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块,用于提供稳定的空气,减少空气的消耗量,抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单,制造成本较低,操作简单方便,实现了非接触传输,减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力,提高了生产效率。 |
专利类型: |
实用新型专利 |
国家地区组织代码: |
北京;11 |
申请人: |
北京京城清达电子设备有限公司 |
发明人: |
韩学东;文亦武;常温 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2011-07-01T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201120232629.0 |
公开号: |
CN202124328U |
代理机构: |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人: |
韩国胜;王莹 |
分类号: |
B65G49/06(2006.01)I |
申请人地址: |
100076 北京市大兴区经济技术开发区经海二路5号 |
主权项: |
一种气浮平台,其特征在于,包括多个气浮模块,每个所述气浮模块包括:内部设置为中空的腔体(3),所述腔体(3)上部具有气浮平板(1),所述气浮平板(1)上具有气浮块(2)。 |
所属类别: |
实用新型 |