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原文传递自动基板加载站

专利名称：	自动基板加载站
摘要：	本发明实施例提供用于自动地把基板加载至基板载盘的方法及设备。本发明的一实施例提供一种自动基板加载器，该自动基板加载器含有晶片盒处理机构、用来对准基板的基板对准器、以及载盘对准器。该自动基板加载器更包含：第一机器人，用来在该基板对准器和该基板储存盒之间移送基板；以及第二机器人，用来在该基板对准器和设置在该载盘对准器上的载盘之间移送基板。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料公司
发明人：	D·H·考齐;石川哲也
专利状态：	有效
申请日期：	2010-03-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080019518.X
公开号：	CN102414810A
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利