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原文传递可驱动加载站系统

专利名称：	可驱动加载站系统
摘要：	本发明提供一种用于在悬吊运输机构和平台之间转运晶片载体的系统，该系统利用具有至少一个从其上延伸出来的手柄的晶片载体；悬吊运输机构；与悬吊运输机构联接的传送装置，其能够随悬吊运输机构运动并具有用于联接至少一个晶片载体手柄的晶片载体联接机构；设置在悬吊运输机构下方的平台，因而跟随悬吊运输机构运动的晶片载体在该平台上方运动；联接到平台上的致动器，用于将平台提升到一个高度，此时加载平台接触与悬吊传送装置联接的晶片载体底部。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料有限公司
发明人：	罗伯特·Z·巴克拉奇
专利状态：	有效
申请日期：	2002-01-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610101530.0
公开号：	CN1901154
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	李德山
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚
所属类别：	发明专利