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原文传递自动基板加载站

专利名称：	自动基板加载站
摘要：	本发明实施例提供用于自动地把基板加载至基板载盘的方法及设备。本发明的一实施例提供一种自动基板加载器，该自动基板加载器含有晶片盒处理机构、用来对准基板的基板对准器、以及载盘对准器。该自动基板加载器更包含：第一机器人，用来在该基板对准器和该基板储存盒之间移送基板；以及第二机器人，用来在该基板对准器和设置在该载盘对准器上的载盘之间移送基板。
专利类型：	发明专利
申请人：	应用材料公司
发明人：	D·H·考齐;石川哲也
专利状态：	有效
申请日期：	2010-03-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080019518.X
公开号：	CN102414810A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：	陆嘉
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	美国加利福尼亚州
主权项：	一种基板加载站，包含：晶片盒处理机构，其中该晶片盒处理机构支撑一或多个基板储存盒，并移动该一或多个基板储存盒中的每一个进出一加载位置；基板对准器，用来对准基板；第一机器人，用来在该基板对准器和位于该加载位置中的该基板储存盒之间移送基板；载盘对准器，用来支撑及旋转一载盘，其中该载盘对准器旋转该载盘以将该载盘定位成适于进行基板移送的状态；以及第二机器人，用来在该基板对准器及设置在该载盘对准器上的载盘之间移送基板。
所属类别：	发明专利