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原文传递用于玻璃基片的支承件

专利名称：	用于玻璃基片的支承件
摘要：	本发明揭示了一种用于薄玻璃片(7)的支承件(31)。所述支承件包括弹性体(9)和支承体(11)，所述弹性体(9)具有相反的第一表面(15)和第二表面(17)，所述支承体(11)结合于所述弹性体(9)的第一表面(15)。在使用过程中，所述薄玻璃片(7)与所述弹性体的第二表面(17)直接接触，并且以可松脱的形式结合于所述弹性体的第二表面。为了提供与所述薄玻璃片(7)的牢固的但是可松脱的结合，所述弹性体的第二表面(17)的肖氏A硬度为10-90，粗糙度小于或等于185纳米。通过这种方式，所述支承件/玻璃片组合件(13)能够耐受在薄玻璃片(7)的裸露表面(23)上制造电子部件的过程中遇到的条件。
专利类型：	发明专利
申请人：	康宁股份有限公司
发明人：	A·R·卡雷;E·J·法兰西斯;J·瓦库-斯马巴;K·冯德拉切克
专利状态：	有效
申请日期：	2010-05-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080020324.1
公开号：	CN102422406A
分类号：	H01L21/673(2006.01)I
申请人地址：	美国纽约州
所属类别：	发明专利