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原文传递传送装置及系统

专利名称：	传送装置及系统
摘要：	本发明提供一种传送装置及系统，其中，传送装置包括机械臂、第一驱动装置、摩擦轮和转动带；所述第一驱动装置的转动轴上固定有摩擦轮，所述摩擦轮通过与所述转动带之间的摩擦力带动所述转动带运动，所述转动带与所述机械臂固定连接。本发明通过驱动摩擦轮带动转动带运动来驱动机械臂进行往复运动，不仅使机械臂的逻辑控制优化简单，而且摩擦轮和转动带之间具有零间隙和重复性能好的特点，更容易精确地控制机械臂的位置及其运动轨迹，当机械臂在取或放晶片时，机械臂、摩擦轮、张力轮和导向轮等部件所受的外力变化不明显，使传送装置具有维护时间间隔长、使用寿命长的优点。
专利类型：	发明专利
申请人：	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
发明人：	周卫国
专利状态：	有效
申请日期：	2010-10-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201010523079.8
公开号：	CN102452559A
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层
主权项：	一种传送装置，其特征在于，包括：机械臂、第一驱动装置、摩擦轮和转动带；所述第一驱动装置的转动轴上固定有摩擦轮，所述摩擦轮通过与所述转动带之间的摩擦力带动所述转动带运动，所述转动带与所述机械臂固定连接。
所属类别：	发明专利