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原文传递基板传送系统及传送方法

专利名称：	基板传送系统及传送方法
摘要：	本发明公开了一种基板传送系统及传送方法。该基板传送系统包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出基板；基板传送平台，设置于第一基板处理平台和第二基板处理平台之间，用于接收来自基板处理平台的基板；基板承载平台，与基板传送平台相邻设置，用于接收来自基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，与基板出口平台平行设置，用于接收来自基板承载平台的基板并将基板传送至基板出口平台。通过上述方式，本发明能够快速地传送基板，缩短基板的传送周期，提高生产效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市华星光电技术有限公司
发明人：	刘纯;潘昶宏
专利状态：	有效
申请日期：	2011-06-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110149785.5
公开号：	CN102320472A
代理机构：	深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人：	何青瓦
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区
主权项：	一种基板传送系统，包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出所述基板；其特征在于，所述基板传送系统进一步包括：基板传送平台，所述基板传送平台设置于所述第一基板处理平台和所述第二基板处理平台之间，用于接收来自所述基板处理平台的基板；基板承载平台，所述基板承载平台与所述基板传送平台相邻设置，用于接收来自所述基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，所述基板运送中转平台与所述基板出口平台平行设置，用于接收来自所述基板承载平台的基板并将所述基板传送至所述基板出口平台。
所属类别：	发明专利