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原文传递基板传送系统

专利名称：	基板传送系统
摘要：	本发明提供了一种基板传送系统，通过导向装置支撑基板，通过传送装置传送所述基板，从而能够实现对于所述基板的传送；进一步的，所述导向装置和所述基板之间存在间隙，由此在所述基板传送的过程中，能够极大的降低、甚至避免所述导向装置和所述基板之间的摩擦；更进一步的，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板，从而也能够避免所述传送装置和所述基板之间的摩擦，由此能够使得整个基板的传送过程中摩擦极小、甚至无摩擦，从而也极大的降低、甚至避免了基板传送过程中颗粒的产生，提高了基板传送的可靠性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	昆山国显光电有限公司
发明人：	吴凡;王洪亚
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810201634.1
公开号：	CN108423433A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	智云
分类号：	B65G49/06(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G49;B65G49/06
申请人地址：	215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
主权项：	1.一种基板传送系统，所述基板传送系统用于传送一基板，其特征在于，所述基板传送系统包括：导向装置，所述导向装置用于支撑所述基板且所述导向装置与所述基板之间存在间隙；传送装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述传送装置通过吸附的方式固定所述基板并进行传送。
所属类别：	发明专利