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原文传递基板传送系统及方法

专利名称：	基板传送系统及方法
摘要：	本公开提供一种基板传送系统，包括皮带、滚轮、基板传送组件、位置感测器、及驱动机构。滚轮配置用以带动皮带滚动。基板传送组件连接皮带并用以传送基板。位置感测器配置用以检测皮带在滚轮的轮轴方向上的位置。驱动机构配置用以驱动滚轮沿着轮轴方向移动，使得皮带保持在轮轴方向上的一既定位置范围内。本公开提供的基板传送系统可以延长皮带的使用寿命及降低皮带突然断裂的机会(亦即，提高基板传送系统的信赖度及可利用性)，降低基板的报废率，并提高各制程的良率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	郑威昌;廖启宏
专利状态：	有效
申请日期：	2017-10-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201710995150.4
公开号：	CN109693908A
代理机构：	隆天知识产权代理有限公司
代理人：	李昕巍;章侃铱
分类号：	B65G15/00(2006.01);B;B65;B65G;B65G15
申请人地址：	中国台湾新竹市
主权项：	1.一种基板传送系统，包括：一皮带；一滚轮，配置用以带动该皮带滚动；一基板传送组件，连接该皮带，用以传送一基板；一位置感测器，配置用以检测该皮带在该滚轮的一轮轴方向上的位置；以及一驱动机构，配置用以驱动该滚轮沿着该轮轴方向移动，使得该皮带保持在该轮轴方向上的一既定位置范围内。 2.如权利要求1所述的基板传送系统，还包括一控制单元，配置用以接收来自该位置感测器的一位置感测信号，及基于该位置感测信号控制该驱动机构的运行。 3.如权利要求1所述的基板传送系统，其中该位置感测器设置于该滚轮在该轮轴方向上的一端部，用以检测该皮带在该轮轴方向上是否超出该既定位置范围。 4.如权利要求3所述的基板传送系统，其中该位置感测器还用以检测该皮带在该轮轴方向上超出该既定位置范围的一偏移量。 5.如权利要求1至4项中任一所述的基板传送系统，其中该基板传送组件包括：一线性滑轨；一滑块，配置用以通过该皮带的带动而沿着该线性滑轨移动；以及一机械手臂，连接该滑块，用以传送该基板。 6.一种基板传送系统，包括：一皮带；一主动轮，配置用以通过一马达的驱动而发生转动；一从动轮，配置用以配合该主动轮来带动该皮带滚动；一基板传送组件，配置用以通过该皮带的带动而传送一基板；一第一位置感测器，配置用以检测该皮带在该主动轮的一轮轴方向上的位置；一第一驱动机构，配置用以驱动该主动轮沿着该轮轴方向移动，使得该皮带保持在该主动轮的该轮轴方向上的一第一既定位置范围；一第二位置感测器，配置用以检测该皮带在该从动轮的一轮轴方向上的位置；以及一第二驱动机构，配置用以驱动该从动轮沿着该轮轴方向移动，使得该皮带保持在该从动轮的该轮轴方向上的一第二既定位置范围，其中该第一、第二既定位置范围的上边界是在一相同水平高度上，且该第一、第二位置范围的下边界是在另一相同水平高度上。 7.如权利要求6所述的基板传送系统，其中该马达连接该主动轮，而该第一驱动机构连接该马达。 8.一种基板传送方法，包括：通过一基板传送系统传送至少一基板，其中该基板传送系统包括一皮带、一滚轮及一基板传送组件，该滚轮用以带动该皮带滚动，而该基板传送组件用以通过该皮带的带动而传送该至少一基板；在传送该至少一基板的过程中，检测该皮带在该滚轮的一轮轴方向上的位置；以及当检测到该皮带在该滚轮的该轮轴方向上发生偏移并超出一既定位置范围时，将该滚轮沿着该轮轴方向移动，使得该皮带复位到该既定位置范围内。 9.如权利要求8所述的基板传送方法，还包括：在传送该至少一基板的过程中，当检测到该皮带在该轮轴方向上偏移超出该既定位置范围一定次数时，发出一警示。 10.如权利要求9所述的基板传送方法，还包括：基于该警示，停止该基板传送系统的运行。
所属类别：	发明专利