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原文传递平板精密悬浮系统

专利名称：	平板精密悬浮系统
摘要：	本发明涉及一种利用倾斜喷射流体的平板精密悬浮系统，其通过流体(气体或者液体)使平板浮起，其包括：第一平板悬浮部及第二平板悬浮部，其连续地重复形成有平板悬浮部，所述平板悬浮部包括：平坦部，平行于所述平板的移送方向平坦地形成，从而形成与平板之间的浮起间隔；喷头阻块，其具有上部左右角落处相对于所述平板倾斜而成，并具有对向设置的一对倾斜部；一对喷头板，在与对象设置的一对倾斜部相同高度或低于所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部的位置处，围绕所述喷头阻块的倾斜部和外周面而形成；以及，一对倾斜喷头部，由所述喷头阻块的对向设置的一对倾斜部和一对喷头板形成，其中，所述平板悬浮部使通过所述对向设置的一对倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)朝所述平板下部向上倾斜地流动，在所述对向吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)相遇的喷头阻块平坦部上部形成压力(浮力)，利用所述压力使得平板浮起一定的间隔；以及，平板吸附部，通过形成在所述第一平板悬浮部和所述第二平板悬浮部之间的一对相反的倾斜喷头部吐出的倾斜喷射流体(气体或者液体)生成低压，以使吸附力作用于所述平板上，在基于所述第一平板悬浮部及所述第二平板悬浮部的浮力以及基于所述平板吸附部的吸附力的一同作用下，使平板具有稳定的浮起固定度。
专利类型：	发明专利
申请人：	英泰克普拉斯有限公司;金永泰
发明人：	金永泰
专利状态：	有效
申请日期：	2010-05-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201080028510.X
公开号：	CN102484089A
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	韩国大田广域市
所属类别：	发明专利