专利名称: | 用于工具的缓冲存储和运输装置 |
摘要: | 一种运输机构,该运输机构构造成在制造设施中的缓冲器内运输工件承载器,该运输机构包括:运输机,该运输机构造成在两个轨道上行进,其中,该运输机包括:(i)平带提升机构,该平带提升机构构造成使一个或多个工件承载器升起和下降;以及(ii)抓持器机构,该抓持器机构构造成捕捉和释放一个或多个工件承载器。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 村田自动化机械有限公司 |
发明人: | 小约瑟夫·约翰·法图拉;弗鲁芒·伊利耶夫·杰亚诺夫;帕布洛·冈萨雷斯;罗伯特·卡尔松;约翰·布鲁克斯·格林;凯文·特索 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2010-08-02T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201080039824.X |
公开号: | CN102484091A |
分类号: | H01L21/677(2006.01)I |
申请人地址: | 日本京都府 |
所属类别: | 发明专利 |