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原文传递空间立体式在线搬送系统

专利名称：	空间立体式在线搬送系统
摘要：	本发明公开一种空间立体式在线搬送系统，包括：带有导轨的天棚，设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣，位于卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备，以及用于在卡匣与处理设备之间搬送基板的空中搬送装置，空中搬送装置与导轨滑动连接。本发明采用立体式搬送方式，将原本位于地面的机械手臂放置于高空，减少搬送系统的占地面积，将基板产线制程的处理设备集中放置，极大提高空间利用率，同时机械手臂在空中搬送，避免了设备间的阻碍，极大的提高搬送效率；此外，空中搬送装置靠近FFU，使得基板洁净度更高，可提高产品合格率。
专利类型：	发明专利
申请人：	深圳市华星光电技术有限公司
发明人：	王赟
专利状态：	有效
申请日期：	2011-11-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110357739.4
公开号：	CN102514939A
分类号：	B65G49/06(2006.01)I
申请人地址：	518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
主权项：	一种空间立体式在线搬送系统，其特征在于，包括：带有导轨的天棚，设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣，位于所述卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备，以及用于在所述卡匣与所述处理设备之间搬送基板的空中搬送装置，所述空中搬送装置与所述导轨滑动连接。
所属类别：	发明专利