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原文传递一种测量微蚀速率的方法

专利名称：	一种测量微蚀速率的方法
摘要：	本发明实施例提供一种测量微蚀速率的方法，以降低测量成本和提高测量精度。所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。本发明实施例提供的方法操作简便，在降低测量成本的同时可以精确测量出微蚀速率，如此，可以通过控制微蚀时间严格控制微蚀量，比较容易达到印制电路板或基板制作中的工艺要求。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深南电路有限公司
发明人：	范铮;刘良军;杨智勤
专利状态：	有效
申请日期：	2011-11-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110339917.0
公开号：	CN102507365A
代理机构：	深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285
代理人：	彭愿洁;李文红
分类号：	G01N5/04(2006.01)I
申请人地址：	518000 广东省深圳市南山区侨城东路99号
主权项：	一种测量微蚀速率的方法，其特征在于，所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。
所属类别：	发明专利