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原文传递瑕疵检测结果整合系统及方法

专利名称：	瑕疵检测结果整合系统及方法
摘要：	本发明揭露一种瑕疵检测结果整合系统及方法，瑕疵检测结果整合系统包含瑕疵检测装置、定位记号读取单元及电子装置。瑕疵检测装置用以撷取多层膜于第一、二制程阶段中的第一、二影像以产生第一、二影像讯框，并据以得到第一、二瑕疵检测结果；其中，第一、二影像涵盖载有参考点位置信息的定位记号。定位记号读取单元用以传送其读取到的定位记号所载的参考点位置信息。电子装置的处理单元用以：根据第一、二瑕疵检测结果及来自制造设备的脉冲信号以得到第一、二瑕疵相对位置信息，并根据参考点位置信息及第一、二瑕疵相对位置信息得到瑕疵位置整合信息。本发明的系统及方法可供自动地整合各制程阶段的瑕疵检测结果，而得到瑕疵位置整合信息。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	明基材料有限公司;明基材料股份有限公司
发明人：	高志远;游莉敏;余建中;张志诚
专利状态：	有效
申请日期：	2011-11-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110390357.1
公开号：	CN102507607A
分类号：	G01N21/958(2006.01)I
申请人地址：	215121 江苏省苏州市工业园区春辉路13号
主权项：	一种瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该方法利用包括处理单元、瑕疵检测装置、定位记号读取单元，及记忆单元的系统来执行，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号，该方法包含下列步骤：(A)于第一制程阶段中，利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第一制程阶段中的第一影像以产生第一影像讯框，其中，该第一影像涵盖已标示于该多层膜的定位记号，该定位记号载有一笔参考点位置信息，该参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关；(
所属类别：	发明专利