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原文传递掩膜板缺陷检测装置

专利名称：	掩膜板缺陷检测装置
摘要：	本发明涉及一种掩膜板缺陷检测装置，包括：光源投射装置，包括光源和透镜，该光源用于发出光束并经透镜投射到掩膜板上；检测系统，包括多个光强检测器，用于测算掩膜板对该光束的反射率和透射率中的至少一个，并与预先建立的检测基准作比较。采用这种结构的掩膜板缺陷检测装置可以快速有效地检测掩膜板上的haze缺陷及细微有机物污染。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海华力微电子有限公司
发明人：	朱骏;张旭昇
专利状态：	有效
申请日期：	2011-11-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110387737.X
公开号：	CN102519968A
代理机构：	隆天国际知识产权代理有限公司 72003
代理人：	吴世华;张龙哺
分类号：	G01N21/88(2006.01)I
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
主权项：	一种掩膜板缺陷检测装置，包括：光源投射装置，包括光源和透镜，该光源用于发出光束并经透镜投射到掩膜板上；检测系统，包括多个光强检测器，用于测算掩膜板对该光束的反射率和透射率中的至少一个，并与预先建立的检测基准作比较。
所属类别：	发明专利