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原文传递 一种光掩膜板抛边装置
专利名称: 一种光掩膜板抛边装置
摘要: 本发明涉及一种光掩膜板抛边装置,包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构,所述的机架固定在机座上,所述的靠模机构位于机架的一侧,所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上,所述的磨轮设在电机的正下方;所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨,所述的靠模滑轨安装于机架的一侧,所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上,所述的靠模安装在靠模滑板上。与现有技术相比,本发明具有结构简单,设备成本低等优点。
专利类型: 发明专利
申请人: 上海双明光学科技有限公司
发明人: 姚建明
专利状态: 有效
申请日期: 2011-09-28T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201110301265.1
公开号: CN103009205A
代理机构: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225
代理人: 赵志远
分类号: B24B9/06(2006.01)I
申请人地址: 201506 上海市金山区朱行镇长卫路8号
主权项: 一种光掩膜板抛边装置,其特征在于,包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构,所述的机架固定在机座上,所述的靠模机构位于机架的一侧,所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上,所述的磨轮设在电机的正下方。
所属类别: 发明专利
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