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扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法
| 专利名称： | 扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：提供表面上带有角刻度的标准件；将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。通过本发明可快速方便的检测和确定晶圆固定器和电子枪在360度的平面空间范围内的相对位置精度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 发明人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟;郭明升 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-11-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110386089.6 |
| 公开号： | CN102519994A |
| 代理机构： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
| 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 分类号： | G01N23/22(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 |
| 主权项： | 一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：步骤一：提供表面上带有角刻度的标准件；步骤二：将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置；步骤三：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；步骤四：将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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