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一种扫描电子显微镜观察钛酸钡超细粉的方法
| 专利名称： | 一种扫描电子显微镜观察钛酸钡超细粉的方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种扫描电子显微镜观察钛酸钡超细粉的方法，其特征在于包括以下步骤：1）钛酸钡超细粉体置于分散剂中，超声振荡，制得钛酸钡超细粉体浑浊液；2）移取钛酸钡超细粉体浑浊液置于载体片上；3）将载体片真空干燥；4）将干燥后的载体片置于压样机上制得待测样品；5）将待测样品用有导电性的粘合剂粘在金属样品台上，放在离子溅射喷镀真空仪中喷镀一层导电镀层；6）控制电子显微镜扫描真空拍摄条件；7）调整测试距离后，任意选定区域，即可。本发明的有益效果：1.有效避免了粉体分散不均、叠加团聚问题；2.制样方法简单、重复性好、利用率高；3.低电压条件下拍摄，图片清晰、形貌规整，便于粒径分布状态的统计分析；4.提高了超细粉体颗粒检测的准确性和可重复性。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 安徽中创电子信息材料有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 发明人： | 严回;倪晶晶;张望;毛素;韩晖;王友乐;王永和 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810571135.1 |
| 公开号： | CN108760785A |
| 代理机构： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 |
| 代理人： | 杨晋弘 |
| 分类号： | G01N23/2202(2018.01)I;G01N23/22(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2202;G01N23/22 |
| 申请人地址： | 233000 安徽省蚌埠市淮上区沫河口工业园开源大道28号 |
| 主权项： | 1.一种扫描电子显微镜观察钛酸钡超细粉的方法，其特征在于包括以下步骤：1）将钛酸钡超细粉体置于互不相溶的分散剂中，控制分散剂与钛酸钡超细粉体质量比为600:1‑1000:1，超声振荡10‑30min，超声频率40‑80HZ，制得钛酸钡超细粉体浑浊液；2）用毛细管或是微量移取器移取步骤1）制得的钛酸钡超细粉体浑浊液置于载体片上；3）将沾有钛酸钡超细粉体浑浊液的载体片进行真空干燥，控制真空干燥箱内温度为80‑110℃，真空度为0.2‑0.8Mpa，干燥30min；4）将步骤3）干燥后所得的载体片置于压样机上制得待测样品，控制压力为0.01‑3.0Mpa，时间为5‑30s；5）将步骤4）制得的待测样品用有导电性的粘合剂粘在金属样品台上，然后放在离子溅射喷镀真空仪中喷镀一层导电镀层，控制离子溅射喷镀真空仪喷镀的真空条件为5×10‑2‑6×10‑2Pa，电流5‑10mA；6）控制电子显微镜扫描真空拍摄条件：真空度大于10‑5MPa，低电压为2KV‑5KV；7）调整测试距离后，任意选定区域，即可拍摄出粉体电镜图。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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