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原文传递衬底交接装置以及衬底交接方法

专利名称：	衬底交接装置以及衬底交接方法
摘要：	提供一种衬底交接装置以及衬底交接方法，不使用升降销以及升降销的升降机构从正交的方向将输送臂的叉子插入到辊式输送机上的衬底来将衬底交接到输送臂。具备辊式输送机和输送臂，该辊式输送机能够沿水平方向输送衬底，该输送臂具有叉子，该叉子能够沿水平、铅垂方向以及绕垂轴旋转自由地移动衬底，辊式输送机构成为将在驱动轴上适当地隔着间隔安装有驱动辊的驱动辊列以及在自由辊轴上适当地隔着间隔以旋转自由的方式安装有自由辊的自由辊列并列排列，具备将自由辊列移动到相邻的驱动辊列侧而在驱动辊列与自由辊列之间形成空间的自由辊驱动用气缸。在空间内从与输送方向正交的方向插入输送臂的叉子，将第一辊式输送机上的衬底交接到输送臂。
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	相马康孝;井本直树
专利状态：	有效
申请日期：	2011-09-09T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201110272260.0
公开号：	CN102442542A
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：	刘新宇
分类号：	B65G47/52(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
主权项：	一种衬底交接装置，其特征在于，具有：辊式输送机，其能够沿水平方向输送衬底；以及输送臂，其具有叉子，该叉子能够沿水平方向、铅垂方向以及绕铅垂轴旋转自由地移动衬底，其中，上述辊式输送机具有自由辊移动机构，该自由辊移动机构形成为：并列排列有驱动辊列和自由辊列，将上述自由辊列移动到相邻的上述驱动辊列侧，在驱动辊列与自由辊列之间形成空间，从与输送方向正交的方向将上述输送臂的叉子插入到上述空间内，将上述辊式输送机上的衬底交接到输送臂。
所属类别：	发明专利