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衬底搬进搬出装置和方法及衬底搬送装置和方法
| 专利名称： | 衬底搬进搬出装置和方法及衬底搬送装置和方法 |
| 摘要： | 一种在存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出衬底(A)的衬底搬进搬出装置(1)。其具备载置衬底(A)的载置台(31)、设置在载置台(31)上在衬底(A)的搬进搬出方向可移动的保持衬底(A)的保持部(32)、在载置台(31)上在搬进搬出方向可移动地支承在保持部(32)上保持的衬底(A)的滚筒(37)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 神钢电机株式会社 |
| 发明人： | 北泽保良 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-08-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410090520.2 |
| 公开号： | CN1600658 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 分类号： | B65G49/00 |
| 申请人地址： | 日本东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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